半導體設備行業是技術含量較高的行業，目前我國90%以上的半導體設備依賴進口，尤其在高端IC設備領域，幾乎沒有國內設備的聲音。因此，從其他半導體設備領域取得突破后，再“反哺”IC設備可以說是中國半導體設備行業最切實可行的路。

    光伏設備一枝獨秀

    近兩年光伏設備的異軍突起使之成為國內半導體設備行業發展的領頭羊。中國電子專用設備工業協會秘書長金存忠在接受《中國電子報》記者采訪時表示，由于國內生產IC設備的企業不多，而且本身生產的量也很少，導致國內IC設備在設備領域所占比重逐漸減小，取而代之的是太陽能光伏設備以及LCD(液晶顯示器)、LED(發光二極管)設備，這些市場的強勁需求帶動了國產設備的發展。

    中電科技集團公司第48研究所副所長王俊朝表示，國內半導體設備產業總體的量不大，大部分用在研發線和小型線上，而且由于國內IC生產線一般都是整線引進，因此國產設備要進入IC大生產線難上加難。“東方不亮西方亮”，IC市場的不景氣被光伏市場的欣欣向榮所替代，國內設備廠商迎來了快速發展甚至是超速發展的時期：國產太陽能電池生產設備及硅片加工設備已經在行業樹立起品牌美譽度。他介紹說，目前，我國光伏設備企業從硅材料生產、硅片加工到太陽能電池芯片的生產以及相應的純水制備、環保處理、凈化工程的建設，已經初步具備成套供應能力，部分產品如擴散爐、等離子刻蝕機、單晶爐、多晶鑄錠爐等開始少量出口。“國產太陽能電池組件比國外低30%左右，很大一部分原因在于國產設備價格低，用國外設備建一條線的錢，可以用國內設備建3條線。”王俊朝對國產設備的價格優勢進行了分析。

    關鍵設備突破在即

    盡管國產太陽能設備逐漸崛起，但其中的一些關鍵設備還有待突破。王俊朝表示，太陽能電池制造設備中全自動絲網印刷機是亟待攻克的難題，目前已經有多家企業在攻關，估計最近一兩年會有方案出來；而多晶硅連續制絨設備也已經有樣品出來，過不了多久就可以用在生產線上了。在多晶硅材料加工設備中多線切割機是要逾越的關卡，目前也已經有樣機出來。這些都是值得期待的。“中國太陽能光伏設備行業起步不晚，并且背靠中國這個產能最高、產量最大的太陽能電池市場。國產太陽能設備行業的崛起指日可待。”王俊朝對未來充滿了期待。光伏設備的發展離不開國內市場的全面啟動，為此，王俊朝建議，應盡早實施切實可行的“上網電價補貼法”并提高半導體尤其是太陽能光伏產品的出口退稅率；制定全面的科技創新鼓勵政策，選定相關行業領軍企業給予重點支持。

    七星華創副總經理張國銘在接受記者采訪時表示，目前七星華創正在開發晶體硅及薄膜太陽能設備，如清洗及PECVD設備的新型號，并且為滿足國內TFT-LCD產業的飛速發展，七星華創積極與國外廠商合作，加強5代、6代線設備的研發，目前，他們已經能為客戶提供產品。

    半導體設備前景看好

    當前，中國半導體產業正處于升級換代的時期，半導體產業升級的速度也決定了相關設備制造業的發展；與此同時，中國政府出臺的電子信息產業振興規劃也為中國半導體行業的發展帶來了新的希望。這樣看來，后危機時代的中國半導體及設備制造行業將無疑會迎來更大的挑戰和機遇。
    業內人士表示，國產半導體設備企業應該充分利用本土企業的地域優勢和價格優勢，加緊縮小與國外設備的技術差距，加強服務意識，為國內顧客提供量身定做的產品，以產品差異化切入市場，建立起快速反應的服務機制，給國內用戶以足夠的信心。

    中電科技集團公司第45所副所長裴二章告訴記者，根據他們目前所掌握的市場情況分析，半導體分立器件領域首先走出了金融危機的影響，生產廠商加快了提升產品檔次的速度，正大幅增加設備投入，擴大生產規模，以滿足目前供不應求的市場需要。45所正適應市場需求，及時調整產品結構，加快新產品的開發力度，縮短中試產品的生產周期，力爭實現2009年的銷售目標。

    張國銘表示，盡管國產設備在集成電路市場泛不起什么漣漪，但他們并沒有放棄。目前他們正在研發高端12英寸清洗及氧化設備，現在已經完成樣機的內部工藝試驗，即將送到客戶生產線進行測試。

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